
中微公司消息,9月4日,在第十三届半导体设备与核心部件及材料展(CSEAC 2025)上,中微公司宣布推出六款半导体设备新产品。这些设备覆。盖等离子体刻蚀(Etch)、原子层沉积(ALD)及外延(EPI)等关键工艺。
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